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    題名: Residual stress in obliquely deposited MgF2 thin films
    作者: Jaing,Cheng-Chung;Liu,Ming-Chung;Lee,Cheng-Chung;Cho,Wen-Hao;Shen,Wei-Ting;Tang,Chien-Jen;Liao,Bo-Huei
    貢獻者: 薄膜技術研究中心
    關鍵詞: GLANCING-ANGLE DEPOSITION;OPTICAL-PROPERTIES;SURFACE-DIFFUSION;ION ASSISTANCE;COLUMN ANGLE;MICROSTRUCTURE;TEMPERATURE;EVAPORATION;GROWTH;OXIDE
    日期: 2008
    上傳時間: 2010-07-07 15:47:15 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: MgF2 films with a columnar microstructure are obliquely deposited on glass substrates by resistive heating evaporation. The columnar angles of the films increases with the deposition angle. Anisotropic stress does not develop in the films with tilted colu
    關聯: APPLIED OPTICS
    顯示於類別:[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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