論文摘要： 隨著經濟全球化的發展，市場的竸爭日益激烈，企業經營已進入微利時代，面臨嚴峻的挑戰。台灣的自動化產業，由於市場經濟規模小，但又必須滿足市場對於不同自動化應用的需求，在此種少量多樣化的市場結構下，自動化設備的種類變得更多，因此，在半導體產業與自動化產業結合的設備運用相對繁瑣且更加有挑戰。 如何在研發過程及導入量產後進而提升產品績效就成為令人值得探究的議題。新創型公司成本降低，是需要建立一個系統化的架構，由從多方面思考才能從源頭解決，簡單來說，就是要進行有效的成本控制管理與避免不必要的浪費。 研究中乃以台灣的半導體產業製造廠作背景，探討經一間台灣本土半導體產業中具代表性的個案公司，來進行半導體設備廠之微污染防制產品績效提升的個案研究分析。以期將研究結果推展應用於半導體產業晶圓廠生產線及半導體產業設備廠產品製造生產線，所得結論如下： (1) 半導體產業自動化設備廠生產線產品績效提升模式持續優化 (2) 半導體產業自動化設備廠研發實驗室與教育訓練強化持續實施。;We provide total solution to retrofit the current 300mm load ports and enables them to have automated purge function. The retrofit plan proposes achievable mechanical and controlling schemes which requires minimum modification to the existing host equipment and load ports, meanwhile, keeps the functions flexible and expandable.
