Treatment of chemical mechanical polishing wastewater for water reuse by ultrafiltration and reverse osmosis separation

NCU Institutional Repository > 工學院 > 環境工程研究所 > 期刊論文 > Item 987654321/30042

請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/30042

題名:	Treatment of chemical mechanical polishing wastewater for water reuse by ultrafiltration and reverse osmosis separation
作者:	Juang,Lain-Chuen;Tseng,Dyi-Hwa;Lin,He-Yin;Lee,Chung-Kung;Liang,Teh-Ming
貢獻者:	環境工程研究所
關鍵詞:	MEMBRANE FILTRATION;PRETREATMENT;SILICA;MICROFILTRATION;PARTICLES;EFFLUENT;RO;UF
日期:	2008
上傳時間:	2010-07-06 16:09:43 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	This paper describes the treatment of chemical mechanical polishing (CMP) wastewater from a semiconductor plant through membrane-based ultrafiltration (UF) and reverse osmosis (RO) processes to improve the removal efficiency under different water recovery
關聯:	ENVIRONMENTAL ENGINEERING SCIENCE????
顯示於類別:	[環境工程研究所 ] 期刊論文

文件中的檔案:

檔案	描述	大小	格式	瀏覽次數
index.html		0Kb	HTML	447	檢視/開啟

在NCUIR中所有的資料項目都受到原著作權保護.

社群 sharing